Lo que es importante al seleccionar un generador de ozono para su ALD

Hace algún tiempo, un fabricante de semiconductores se acercó a nosotros con una preocupación. Explicaron que su generador de ozono actual no era suficiente para tratar eficazmente su sustrato, lo que resultaba en un proceso largo y que requerían un generador de ozono más grande. En Absolute Ozone®, brindamos soporte gratuito e ilimitado a todos nuestros clientes para sus aplicaciones, por lo que para comprender mejor el problema, le hicimos dos preguntas al cliente: ¿Qué tan grande es su generador de ozono? y que tipo de generador de ozono utilizan? Nos sorprendió saber que tenían un generador de ozono de 30 g/h y estaban interesados en comprar un generador de 60 g/h. Además, su concentración de ozono era solo del 3% en peso y su cámara de reacción tenía un volumen de solo 1 litro.

«Elegir el generador de ozono adecuado: una decisión clave»»

En la industria de aplicaciones ALD (deposición de capas atómicas), las personas involucradas generalmente poseen una buena comprensión del tema. Nuestra tarea es simplemente llamar su atención sobre la causa raíz de su problema, que radica en la cantidad de ozono que puede estar presente en su cámara de reacción en un momento dado. El punto clave a tener en cuenta es que cuanto mayor sea la cantidad de ozono, más rápido puede proceder su reacción. Con una concentración del 3% en peso. (que equivale a 43,3 g/Nm3), solo pueden tener 0,0433 g de ozono dentro de su cámara en un momento dado (que se obtiene al dividir 43,3 g entre 1000 litros). Sin embargo, al utilizar un generador de ozono capaz de producir ozono al 15 % en peso. (225,4 g/Nm3), pueden alcanzar una concentración de aproximadamente 0,225 g dentro de su cámara de reacción, que es cinco veces mayor que antes.

Absolute Ozone® – Atlas 30C – Ozone Generator

Generalmente, la reacción del ozono es lineal. Por lo tanto, aumentar la concentración puede disminuir el tiempo de exposición y aún así obtener el mismo efecto. En conclusión, simplemente elegir un generador de ozono de 30 g/h de alto rendimiento como Absolute Ozone® Atlas 30C, que puede alcanzar concentraciones de ~16 % en peso, puede acelerar el proceso cinco veces. Además, supongamos que utilizan un pequeño depósito acumulador de almacenamiento intermedio. En ese caso, pueden inyectar ozono en su cámara de reacción al instante y, debido a un tiempo de reacción tan rápido, su bomba de vacío tendrá que trabajar cinco veces menos.

Con tal diferencia en la velocidad o reacción y efectividad del proceso debido a la concentración de ozono, desafortunadamente, todavía vemos muchos clientes que compran generadores de ozono que no son adecuados para aplicaciones ALD. Ofreciendo en realidad solo 3-5% en lugar de un 8-12% en peso anunciado y pierda su tiempo y dinero. (asegúrese de que el fabricante le proporcione una tabla de rendimiento real del generador y garantice la concentración de ozono). Al mismo tiempo, en Absolute Ozone®, siempre nos complace ayudar a los clientes con preguntas sobre su aplicación de ozono y ayudarlos con el tamaño o la selección del generador de ozono.

«Absolute Ozone®: Liderando el camino en la tecnología de generadores de ozono»

Absolute Ozone® ofrece una garantía de 5 años para todos los generadores de ozono, lo que garantiza la satisfacción del cliente. Nuestros modelos son compactos y livianos, lo que permite un envío e instalación rentables en todo el mundo. Lo que distingue a Absolute Ozone® es la calidad excepcional y alto rendimiento de nuestros generadores de ozono, que incorporan componentes sanitarios para la generación de ozono ultrapuro. Con una tasa de defectos de menos del 3 por mil, nuestros generadores están diseñados para brindar un rendimiento confiable durante más de 20 años sin necesidad de servicio o repuestos. Nos enorgullecemos de ser uno de los únicos fabricantes de ozono que ofrece garantía en la producción de ozono. Además, nuestros clientes reciben soporte técnico inigualable sin costo adicional, lo que refuerza nuestro compromiso con su éxito.

Absolute Ozone ® – Atlas 30 UHC – Ozone Generator

Si actualmente enfrenta desafíos con su proceso de tratamiento de sustratos, lo alentamos a que observe más de cerca el generador de ozono que está utilizando. Es esencial asegurarse de que la concentración de ozono y el tamaño del generador sean apropiados para su aplicación. No pierda su tiempo y dinero con generadores de ozono inadecuados que pueden conducir a procesos ineficaces.

Contáctenos en Absolute Ozone® hoy para obtener ayuda con el tamaño y la selección del generador de ozono, y aproveche nuestro soporte técnico gratuito e ilimitado.